[发明专利]一种CrN涂层、制备方法及应用有效
| 申请号： | 201811627269.7 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109504947B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 吴忠振;李体军;肖舒;刘亮亮;林海;潘锋 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CrN涂层、制备方法及应用，其中，CrN涂层为纳米孪晶结构。本发明采用筒形金属等离子体源结合磁控溅射技术，对金属离子的纯化和能量的精确控制，可实现高密度纳米孪晶结构在CrN陶瓷涂层中的生成。纳米孪晶结构能大幅提高CrN涂层的硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 crn 涂层 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种CrN涂层，其特征在于，所述CrN涂层为纳米孪晶结构。
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