[发明专利]TFT铂金通道用高致密度铂铑合金铸锭制备方法

摘要

本发明涉及一种TFT铂金通道用高致密度铂铑合金铸锭制备方法，属于金属材料技术领域。其通过抽真空、感应熔化、加入脱氧剂、缓慢凝固、充氩气、抽真空、感应熔化并多次循环的熔炼排气方法，在仅具有普通机械泵的条件下得到低气孔率、无缩松、高致密度的铂铑合金铸锭。本发明有效提高了铂铑制品的致密度，从而避免了铂铑制品在通电加热时因气孔导致的加热不均。

主权项

1.TFT铂金通道用高致密度铂铑合金铸锭制备方法，其特征是步骤如下：（1）抽真空：将经过配比的铂铑合金2‑30kg放入到真空炉的氧化锆坩埚中，合上真空炉盖，打开旋片真空泵及真空阀，抽真空使气压降至10‑50Pa并保持；（2）感应熔化：开启感应电源，将功率缓慢上升至10‑30kW，将金属熔化；（3）加入脱氧剂：通过真空炉的加料装置向合金液中加入微量脱氧剂，保持5‑30分钟，形成均相合金液；（4）缓慢凝固：将功率缓慢降低至5‑15kW，使合金液平静后缓慢凝固，直到凝固完全；（5）充氩气：保持旋片真空泵的运转，关闭真空阀，打开充气阀充入氩气，使气压升至200‑1000Pa；（6）抽真空：关闭充气阀，打开真空阀，使气压再次降至10‑50Pa；（7）熔化：将功率升高至10‑30kW，将合金再次熔化；（8）重复：循环步骤（3）到步骤（6）2‑6次；（9）浇铸：合金熔化后，将功率再提升1‑5kW，浇铸到水冷铜模中，形成高致密度的铂铑合金锭，铸锭致密度大于等于99%。