[发明专利]一种平面栅双极型晶体管及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201811628934.4 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109713035B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 阳平 申请(专利权)人: 上海擎茂微电子科技有限公司
主分类号: H01L29/423 分类号: H01L29/423;H01L29/06;H01L29/739;H01L21/331;H01L21/28
代理公司: 温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙) 33262 代理人: 汤时达
地址: 201100 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种平面栅双极型晶体管,包括具有第一掺杂类型的半导体衬底、形成于半导体衬底表面的JFET区及基区、形成于基区表面的发射区、位于半导体衬底上方的栅极,基区具有第二掺杂类型,发射区具有第一掺杂类型,半导体衬底的上方设置有栅氧化层,栅极包括位于JFET区的左右两侧且间隔一定距离的栅极左部和栅极右部,本发明平面栅双极型晶体管还包括二氧化硅膜形成的FOX区。本发明采用FOX区来分隔栅极,减小无效栅极面积,使得本发明的平面栅双极型晶体管能实现更低的栅源电容、栅漏电容和器件开关损耗,具有更高的器件性能。
搜索关键词: 一种 平面 栅双极型 晶体管 及其 制作方法
【主权项】:
1.一种平面栅双极型晶体管,包括具有第一掺杂类型的半导体衬底、形成于半导体衬底表面的JFET区及基区、形成于基区表面的发射区、位于半导体衬底上方的栅极,所述基区具有第二掺杂类型,所述发射区具有第一掺杂类型,其特征在于:所述半导体衬底的上方设置有栅氧化层,所述栅极包括位于所述JFET区的左右两侧且间隔一定距离的栅极左部和栅极右部。
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