[发明专利]基于光学平面条纹图像处理的干涉测量系统误差标定方法有效
| 申请号： | 201811629906.4 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109780992B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 朱新栋;杨树明;方素平;杨鹏程;王睍;刘勇;张国锋;吉培瑞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 61200 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光学平面条纹图像处理的干涉测量系统误差标定方法，将测量系统视作一个整体，先拍摄被测对象的一组干涉条纹图像，然后保持测量光学系统不动，将光学平面安装到被测对象的位置并拍摄其干涉条纹图像，最后通过处理光学平面条纹图像来标定实际测量光学系统的误差。该方法操作简单，仅需拍摄并处理一组光学平面的干涉条纹图像就可以标定测量光学系统误差，并补偿被测曲面的测量结果。该方法应用范围较广，可以用于常见的几种干涉测量系统的误差标定，提高干涉测量系统的精度。采用该方法能够统一仿真计算和实际测量光学系统之间的参数，从而实现计算机仿真计算的结果作为测量基准，避免使用实物基准，降低了测量成本，提高了测量的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 光学平面 干涉测量系统 干涉条纹图像 条纹图像 误差标定 测量光学系统 被测对象 光学系统 实际测量 标定 拍摄 计算机仿真计算 测量成本 测量基准 测量系统 仿真计算 实物基准 测量 统一 | ||
【主权项】：
1.基于光学平面条纹图像处理的干涉测量系统误差标定方法，其特征在于，将测量系统视作一个整体，先拍摄被测对象的一组干涉条纹图像，然后保持测量光学系统不动，将光学平面安装到被测对象的位置并拍摄其干涉条纹图像，最后通过处理光学平面条纹图像来标定实际测量光学系统的误差，具体包括以下步骤：/n步骤一：调整测量光学系统，将被测曲面安装在光学系统中，并拍摄一组被测表面干涉条纹图像；/n步骤二：在保持测量光学系统不变的前提下，去掉被测对象，将光学平面安装在被测表面的位置，采用与拍摄被测表面干涉条纹图像时的同样移相步数，拍摄光学平面的干涉条纹图像，所选取的光学平面的尺寸必须大于被测曲面的尺寸，这里的光学平面常采用精磨过的光学平面反射镜；/n步骤三：提取光学平面干涉条纹图像的包裹相位，并进行相位解包裹，目标像素点(x,y)处的包裹相位
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