[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池生产的实时监测设备及其监测方法在审

专利信息
申请号: 201811630980.8 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109713136A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 杭州纤纳光电科技有限公司
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;H01L51/00
代理公司: 浙江一墨律师事务所 33252 代理人: 陈红珊
地址: 311121 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种钙钛矿太阳能电池生产的实时监测设备,包括光探测器、分光光度计以及检测分析系统,光探测器探测到的光线信号通过分光光度计分析后传输至检测分析系统,在真空密封舱内设置有加热钙钛矿太阳能电池基片的加热装置,在真空密封舱的下部设置光源,光源的光线通过下透光孔垂直射入真空密封舱内并透过钙钛矿太阳能电池基片及加热装置的透光孔后再通过真空密封舱的上透光孔从真空密封舱内出来,光探测器对准上透光孔监测透过上透光孔的光线。本发明还提供一种钙钛矿太阳能电池生产的实时监测设备的监测方法。本发明通过监测钙钛矿薄膜的生产过程中的性能参数,控制其反应进程,提高各批次钙钛矿薄膜生产的重复性。
搜索关键词: 真空密封 钙钛矿 透光孔 太阳能电池生产 实时监测设备 光探测器 太阳能电池基片 监测 钙钛矿薄膜 加热装置 检测分析 光源 分光光度计分析 分光光度计 反应进程 光线通过 光线信号 生产过程 性能参数 射入 加热 对准 探测 垂直 传输 生产
【主权项】:
1.一种钙钛矿太阳能电池生产的实时监测设备,其特征在于,包括光探测器、分光光度计以及检测分析系统,所述光探测器探测到的光线信号通过分光光度计分析后传输至检测分析系统,所述光探测器探测来自真空密封舱内的光线,在所述真空密封舱内设置有加热钙钛矿太阳能电池基片的加热装置,以及被蒸发控制系统控制的蒸发源,在所述真空密封舱的下部设置光源,在所述真空密封舱的底壁设置下透光孔,在所述加热装置上设置透光孔,在所述真空密封舱的顶壁设置上透光孔,所述光源的光线能够通过下透光孔垂直射入真空密封舱内并透过钙钛矿太阳能电池基片及加热装置的透光孔后再通过真空密封舱的上透光孔从真空密封舱内出来,所述光探测器正对准上透光孔以便监测透过上透光孔的光线,所述检测分析系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。
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