[发明专利]全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置

摘要

本发明涉及光谱技术领域，具体涉及一种全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置。该装置包括显影罐10、光栅固定机构20、支撑机构30、激光器40、光电接收器50、俯仰调节机构60和监测机构70。本发明的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置设置有俯仰调节机构，用于直接根据待显影的潜像光栅调整激光器的激光束的俯仰，分离以自准直角度入射的激光束和该激光束经潜像光栅衍射产生的‑1级衍射光束，不会产生衍射光角度偏转，‑1级衍射光束作为监测信号既不会产生衍射级次混淆，又不会混入入射激光束，增加了判断显影截止点的准确度。

主权项

1.一种全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，该装置包括：显影罐；光栅固定机构，设于所述显影罐内，所述光栅固定机构用于将潜像光栅固定于所述显影罐内；支撑机构；激光器，可转动地安装于支撑机构上，所述激光器用于发射第一激光束以照射所述潜像光栅；光电接收器，用于接收经所述潜像光栅衍射形成的第二激光束；俯仰调节机构，安装在所述支撑机构和所述激光器之间，用于使所述激光器相对于所述支撑机构转动以调整所述第一激光束的俯仰；以及监测机构，用于根据所述第二激光束的能量变化对显影截止点进行实时监测。