[发明专利]外腔面光源VCSEL及其应用在审
| 申请号： | 201811633011.8 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109449751A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王俊;刘恒;谭少阳;闵大勇 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;H01S5/183;G01S7/481;F21K9/23;F21K9/69;F21Y115/30 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杨淑霞 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种外腔面光源VCSEL及其应用，其中，所述外腔面光源VCSEL包括：面光源以及位于所述面光源出光侧的透镜；所述面光源包括：‑N面电极、衬底层、外延层、‑P面电极，所述‑P面电极、外延层、衬底层、‑N面电极自上而下依次层叠设置，所述‑P面电极包括：上DBR结构、有源层结构以及下DBR结构，所述上DBR结构、有源层结构以及下DBR结构自上而下依次层叠设置，所述透镜的尺寸与所述面光源的发光面积相对应，所述‑P面电极发出的光线经所述透镜的调节后均匀出射。本发明的外腔面光源VCSEL利用透镜对光束的调节作用，将高阶模光束转化为低阶模光束，进而降低光束发散角，减小带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 面光源 透镜 外腔 依次层叠 衬底层 外延层 源层 低阶模光束 光束发散角 高阶模 出射 减小 应用 带宽 发光 转化 | ||
【主权项】：
1.一种外腔面光源VCSEL，其特征在于，所述外腔面光源VCSEL包括：面光源以及位于所述面光源出光侧的透镜；所述面光源包括：‑N面电极、衬底层、外延层、‑P面电极，所述‑P面电极、外延层、衬底层、‑N面电极自上而下依次层叠设置，所述‑P面电极包括：上DBR结构、有源层结构以及下DBR结构，所述上DBR结构、有源层结构以及下DBR结构自上而下依次层叠设置，所述透镜的尺寸与所述面光源的发光面积相对应，所述‑P面电极发出的光线经所述透镜的调节后均匀出射。
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