[发明专利]一种用于金属表面抛光的光学装置有效
| 申请号： | 201811635339.3 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111375897B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 郑昕;杨建军;郭春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供的用于金属表面抛光的光学装置，所述飞秒激光光源出射的激光光束依次经所述钒酸钇双折射晶体、所述衰减片及所述聚焦物镜后聚焦于所述三维移动平台上的金属表面，并对所述金属表面进行激光抛光处理，得到光滑的抛光表面，本发明提供的用于金属表面抛光的光学装置，通过控制相关飞秒激光加工参数，来实现金属表面的抛光，相较于现有的机械抛光方法，可实现一次大面积快速抛光和微区抛光，无需砂纸、研磨膏、化学腐蚀剂等辅助材料；且整个加工过程简单易操作，且热效应可忽略，可以实现高精度抛光；同时，由于采用非接触式加工，可以有效避免应力对金属钨样品表面的破坏和沾污等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属表面 抛光 光学 装置 | ||
【主权项】：
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