[发明专利]一种共享质量块的三轴电容式加速度计有效
| 申请号： | 201811635414.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109444467B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郑青龙;刘爽 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312081 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种共享质量块的三轴电容式加速度计，包括：质量块，质量块被设置为：能够在三个轴向平动；基底，质量块相对基底进行平动；固定锚点，固定锚点将质量块连接至基底；检测电容，其电容值随着质量块的平动而发生变化。实现三个轴向平动的关键是通过两段式的刚性梁连接。与传统的加速度计敏感方式相比，本发明提供的加速度计大幅度提高了传感器的敏感度。同时，结合合成电容的检测方式，进一步大幅度地降低芯片的面积，降低产品的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共享 质量 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种三轴电容式加速度计，其特征在于，包括：质量块，所述质量块被设置为：能够在三个轴向平动；基底，所述质量块相对所述基底进行平动；固定锚点，所述固定锚点将所述质量块连接至所述基底；检测电容，其电容值随着所述质量块的平动而发生变化。
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