[发明专利]一种硅片切割机控制系统及方法在审
| 申请号： | 201811635826.X | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109624115A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 姚宏杰;杨合跃;夏风;刘虎;刘浩维;杨彬 | 申请（专利权）人： | 武汉菲仕运动控制系统有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 姜展志 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片切割机控制系统及方法，所述系统包括运动控制器、多个驱动器、多个电机和硅片切割机，所述运动控制器与多个所述驱动器电连接，每个所述驱动器与一个所述电机电连接，所述硅片切割机包括多个轴，每个所述电机与所述硅片切割机的一个所述轴连接；所述运动控制器，用于接收来自上位机的工艺参数，根据所述工艺参数生成控制指令，并将所述控制指令发送至所述驱动器；所述驱动器，用于根据所述控制指令驱动所述电机；所述电机，用于控制所述轴运动。本发明的技术方案自动化程度高，能够大幅降低硅片切割机工作时的振动幅度，提高了硅片切割机稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片切割机 驱动器 运动控制器 电机 控制系统 控制指令发送 多个驱动器 机电连接 控制指令 生成控制 振动幅度 电连接 上位机 轴连接 轴运动 自动化 指令 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种硅片切割机控制系统，其特征在于，包括运动控制器、多个驱动器、多个电机和硅片切割机，所述运动控制器分别与多个所述驱动器电连接，每个所述驱动器与一个所述电机电连接，所述硅片切割机包括多个轴，每个所述电机与所述硅片切割机的一个所述轴连接；所述运动控制器，用于接收来自上位机的工艺参数，根据所述工艺参数生成控制指令，并将所述控制指令发送至所述驱动器；所述驱动器，用于根据所述控制指令驱动所述电机；所述电机，用于控制所述轴运动。
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