[发明专利]一种双远心投影光刻镜头

摘要

本发明提供了一种双远心投影光刻镜头，其设计合理，具有高远心度、低畸变的特点，适用于长工作距离的场景,包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第一透镜，具有正光焦度；第二透镜，具有负光焦度；第三透镜，具有正光焦度；第四透镜，具有负光焦度；第五透镜，具有负光焦度；所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第六透镜，具有负光焦度；第七透镜，具有正光焦度；第八透镜，具有正光焦度；第九透镜；第十透镜，具有正光焦度；第十一透镜，具有负光焦度。

主权项

1.一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第一透镜，具有正光焦度，所述第一透镜的物面侧为凸面，所述第一透镜的像面侧为凸面；第二透镜，具有负光焦度，所述第二透镜的物面侧为凸面，所述第二透镜的像面侧为凹面；第三透镜，具有正光焦度，所述第三透镜的物面侧为凸面，所述第三透镜的像面侧为凸面；第四透镜，具有负光焦度，所述第四透镜的物面侧为凹面，所述第四透镜的像面侧为凸面；第五透镜，具有负光焦度，所述第五透镜的物面侧为凹面，所述第五透镜的像面侧为凸面；所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第六透镜，具有负光焦度，所述第六透镜的物面侧为平面，所述第六透镜的像面侧为凹面；第七透镜，具有正光焦度，所述第七透镜的物面侧为凸面，所述第七透镜的像面侧为凸面；第八透镜，具有正光焦度，所述第八透镜的物面侧为凸面，所述第八透镜的像面侧为凸面；第九透镜，具有正光焦度，所述第九透镜的物面侧为凸面，所述第九透镜的像面侧为凸面；第十透镜，具有正光焦度，所述第十透镜的物面侧为凹面，所述第十透镜的像面侧为凸面；第十一透镜，具有负光焦度，所述第十一透镜的物面侧为平面，所述第十透镜的像面侧为凹面；其中，第六透镜与第七透镜的光学边缘紧贴设置；双远心投影光刻镜头满足如下关系：150mm

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