[发明专利]一种新型光刻胶显影装置及显影方法在审
| 申请号： | 201811636147.4 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109375481A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王晓龙;姚俊俊 | 申请（专利权）人： | 上海彩丞新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 丁鹏 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型光刻胶显影装置，包括基台固定架、光刻胶板固定架、显影液罐、超纯水罐、缓存槽以及液体流通口；所述显影液罐、超纯水罐选择性的与所述缓冲槽连通，所述缓冲槽内的液体通过液体流通口与外部连通；所述液体流通口位于光刻胶固定架上方，显影工艺是通过显影液与光刻胶发生化学反应而生成纹理图案，由于本装置显影时显影液均匀的流过光刻胶表面，避免了显影不均匀和光刻图案上残留气泡的问题，提高了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻胶 显影液 液体流通口 显影 显影装置 纯水罐 固定架 缓冲槽 化学反应 光刻胶表面 光刻胶板 光刻图案 基台固定 外部连通 纹理图案 显影工艺 液体通过 缓存槽 连通 残留 | ||
【主权项】：
1.一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：包括基台固定架(1)、光刻胶板固定架(2)、显影液罐(4)、超纯水罐(5)、缓存槽(8)以及液体流通口(7)；所述显影液罐(4)、超纯水罐(5)选择性的与所述缓冲槽(8)连通，所述缓冲槽(8)内的液体通过液体流通口(7)与外部连通；所述液体流通口(7)位于光刻胶固定架(2)上方。
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