[发明专利]样品托在审
| 申请号： | 201811637662.4 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111379021A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 梅红萍;李昂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;H01J37/20;G01N23/2204;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种样品托，样品托包括：第一单元，第一单元包括第一表面及与第一表面相对的第二表面，第一单元包括贯穿第一表面及第二表面的第一通孔；第一单元的传递方式包括水平传递；固定单元，固定单元位于第一单元的第一表面上，并与第一单元相连接，固定单元包括第二通孔，第二通孔与第一通孔相贯通；第二单元，第二单元包括样品部、固定部及连接部；其中，样品部用以承载样品，固定部与所述固定单元相连接；第二单元的传递方式包括垂直传递。本发明通过样品托可实现样品在大型互联真空系统中的传递操作，包括水平传递及垂直传递，保证样品在超高真空互联系统中的原位生长和原位多重表征测试，避免大气下杂质污染等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 | ||
【主权项】：
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