[发明专利]一种软X射线光源在审
| 申请号： | 201811640339.2 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109640500A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘炜;郑睿;谢庆国;肖鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞派宁科技有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，软X射线光源还包括支撑板、波纹管和三维位移机构，支撑板设置于真空靶室上，支撑板上设置有穿过支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，制冷剂入口管道和制冷剂出口管道与制冷腔连通，工作气体管道穿过制冷腔并与喷嘴连接；波纹管设置于支撑板与真空靶室之间，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道均从波纹管内部穿过；三维位移机构设置于支撑板与真空靶室之间。本申请可以实现在X、Y、Z三轴方向上调节喷嘴位置。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑板 制冷腔 真空靶室 喷嘴 制冷剂出口管道 工作气体管道 软X射线光源 制冷剂入口 波纹管 三维位移 穿过 机构设置 喷嘴位置 三轴 申请 连通 室内 | ||
【主权项】：
1.一种软X射线光源，所述软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，所述制冷腔和所述喷嘴容置于所述真空靶室内，所述喷嘴设置于所述制冷腔上，其特征在于，所述软X射线光源还包括：支撑板，所述支撑板设置于所述真空靶室上，所述支撑板上设置有穿过所述支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，所述制冷剂入口管道和所述制冷剂出口管道分别与所述制冷腔连通，所述工作气体管道穿过所述制冷腔并与所述喷嘴连接；波纹管，所述波纹管设置于所述支撑板与所述真空靶室之间，所述制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道均从所述波纹管内部穿过；以及三维位移机构，所述三维位移机构设置于所述支撑板与所述真空靶室之间。
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