[发明专利]晶体生长的加热装置及生长装置在审

专利信息
申请号: 201811640596.6 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109594124A 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 段满龙;赵有文 申请(专利权)人: 珠海鼎泰芯源晶体有限公司
主分类号: C30B29/40 分类号: C30B29/40;C30B11/00
代理公司: 广东朗乾律师事务所 44291 代理人: 闫有幸;杨焕军
地址: 519000 广东省珠海市香洲*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种晶体生长的加热装置,涉及晶体生长技术领域;包括从上到下依次设置的多个独立的加热单元;每个加热单元均包括壳体、保温层及加热炉丝;所述壳体为空心柱体;每个加热单元的壳体表面分别螺旋缠绕有所述加热炉丝;所述保温层设在所述壳体与加热炉丝外;上下相邻的两个加热单元可拆卸连接;多个加热单元的壳体围成一空腔;各加热单元自由组合、单独更换,在使用过程中若出现局部加热丝断裂后直接更换损坏的加热单元即可,不用报废整个加热炉,可大幅度提高加热炉的利用率及降低使用成本。
搜索关键词: 加热单元 加热炉丝 壳体 加热炉 加热装置 晶体生长 保温层 晶体生长技术 可拆卸连接 从上到下 单独更换 局部加热 壳体表面 空心柱体 螺旋缠绕 生长装置 依次设置 自由组合 壳体围 一空腔 断裂 报废
【主权项】:
1.一种晶体生长的加热装置,其特征在于,包括从上到下依次设置的多个独立的加热单元;每个加热单元均包括壳体、保温层及加热炉丝;所述壳体为空心柱体;每个加热单元的壳体表面分别螺旋缠绕有所述加热炉丝;所述保温层设在所述壳体与加热炉丝外;上下相邻的两个加热单元可拆卸连接;多个加热单元的壳体围成一空腔。
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