[发明专利]微孔金属膜及制备方法在审
| 申请号： | 201811643287.4 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109518130A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杨慧;陈希 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;G01N33/50;G01N33/531 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微孔金属膜，所述微孔金属膜包括金属基底，所述金属基底开设有若干微纳尺寸的通孔，所述金属基底分区设置形成N组微纳通孔区，N为大于等于2的正整数；且同一微纳通孔区的微纳通孔的孔径和深度相同，不同微纳通孔区的微纳通孔的孔径相同或不同。其中，所述金属基底的材料选自第三周期至第六周期中第二族至第十三族的金属或金属合金，但不为钙、镓、汞。本发明提供的微孔金属膜，制造工艺可重复性高，在不同应用中可以提高样品检测灵敏性、降低背景信号。 | ||
| 搜索关键词： | 金属基 金属膜 微孔 通孔区 通孔 金属或金属合金 背景信号 分区设置 可重复性 样品检测 制造工艺 灵敏性 正整数 制备 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微孔金属膜，其特征在于，所述微孔金属膜包括金属基底，所述金属基底开设有若干微纳尺寸的通孔，所述金属基底分区设置形成N组微纳通孔区，N为大于等于2的正整数；且同一微纳通孔区的微纳通孔的孔径相同，不同微纳通孔区的微纳通孔的孔径相同或不同，其中，所述金属基底的材料选自第三周期至第六周期中第二族至第十三族的金属或金属合金，但不为钙、镓、汞中的至少一种。
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