[发明专利]一种模斑转换器结构及参数优化方法有效
| 申请号： | 201811643452.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109491013B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王全龙;吴凤佳 | 申请（专利权）人： | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李博洋 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种模斑转换器结构及参数优化方法，其中，模斑转换器结构包括：本发明实施例提供的模斑转换器结构，包括奇数个锥形变形结构，沿中心的锥形变形结构对称分布，所述中心的锥形变形结构的两端用于耦合至第一光波导和第二光波导。与传统单根线性锥形波导模斑转换器相比可以减小光由波导芯层到包层结构的泄露，降低光损耗，可以在短的长度内实现高效率耦合，能够有效缩小模斑转换器体积，提高芯片集成度降低成本，由于本发明提供的模斑转换器结构与波导均在顶层硅上通过一步光刻工艺加工，与传统单根线性锥形模斑转换器相比不增加工艺难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转换器 结构 参数 优化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种模斑转换器结构，用于连接第一光波导和第二光波导进行模斑转换，所述第一光波导与所述模斑转换器耦合的一面的尺寸大于所述第二光波导与所述模斑转换器耦合的一面的尺寸，其特征在于，所述模斑转换器包括：奇数个锥形变形结构，沿中心的锥形变形结构对称分布，所述中心的锥形变形结构的两端用于耦合至所述第一光波导和所述第二光波导。
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