[发明专利]一种仿生微悬臂梁结构、其制造方法及压阻传感器有效
| 申请号： | 201811643516.2 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN109696185B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 韩志武;赵宇锋;侯涛;刘富;刘云;王跃桥;宋阳;游子跃 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01D5/16 | 分类号： | G01D5/16 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文 |
| 地址： | 130022 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种仿生微悬臂梁结构、其制造方法及压阻传感器，所述微悬臂结构包括：呈悬臂梁结构的硅衬底、设置在所述硅衬底中的仿生孔缝组，以及设置在所述硅衬底上表面的梁上压敏电阻、衬底压敏电阻和电极引线；两个所述仿生孔缝组呈对称排列在所述硅衬底中心轴左右两侧；所述仿生孔缝组包括至少一条仿生缝；仿生缝为基于蝎子缝感受器仿生而成；所述梁上压敏电阻与衬底压敏电阻之间通过电极引线构成惠斯通电桥。本发明基于彼得异蝎跗骨关节处缝感受器应力放大的机理，同时应用微纳制造技术设计出一种超敏感知微信息的微悬臂梁结构。本发明提供的微悬臂梁结构具有灵敏度高、检测精度高、易于批量生产等特征。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 仿生 悬臂梁 结构 制造 方法 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种仿生微悬臂梁结构，其特征在于，包括：呈悬臂梁结构的硅衬底、设置在所述硅衬底中的两个仿生孔缝组，以及设置在所述硅衬底上表面的梁上压敏电阻、衬底压敏电阻和电极引线；两个所述仿生孔缝组呈对称排列在所述硅衬底中心轴左右两侧；各个所述仿生孔缝组内包括：至少一条仿生缝；所述仿生缝为基于蝎子缝感受器仿生而成；所述梁上压敏电阻与衬底压敏电阻之间通过电极引线构成惠斯通电桥。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811643516.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：编码器、机器人以及打印机
- 下一篇：用于电阻式传感器和电容式传感器的读出电路
