[发明专利]一种刻蚀设备及刻蚀方法在审
| 申请号： | 201811643704.5 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111383897A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 黄赛;贾永刚 | 申请（专利权）人： | 苏州能讯高能半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刻蚀设备及刻蚀方法，涉及刻蚀设备技术领域。该刻蚀设备包括刻蚀腔、预抽腔、测量腔及传送机构，预抽腔与刻蚀腔连通；测量腔与预抽腔连通，测量腔内设置有检测组件，检测组件被配置为检索工件上刻蚀的深度；传送机构设置于预抽腔内，传送机构被配置为承载工件，并实现工件在刻蚀腔和测量腔之间传送。该刻蚀设备中，首次刻蚀后通过测量刻蚀深度计算二次刻蚀的深度，通过多次刻蚀和测量来保证工件表面刻蚀深度的要求，避免工件报废。工件在检测过程中始终位于真空环境，一方面可以节省破真空和建立真空等重复作业的时间，提高刻蚀效率；另一方面可以避免工件与空气接触，保证工件的质量，从而提高刻蚀的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 设备 方法 | ||
【主权项】：
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