[发明专利]一种具有功率自适应调节的微波干燥装置

摘要

本发明提供一种具有功率自适应调节的微波干燥装置，包括腔体，在腔体内设有载片台和微波耦合匹配器，微波耦合匹配器通过微波传输导线与微波功率源相连接，微波耦合匹配器包括微波天线、阻抗匹配网络和微波检测器，微波检测器用于检测微波功率源输出至微波耦合匹配器的微波功率信号的入射功率和反射功率，并且根据入射功率和反射功率的情况，阻抗匹配网络自动调整，直至微波天线能够将微波功率源的输出功率全部施加至腔体内；腔体内设有开口，其通过导管与外部的真空泵组相连。本发明具有功率自适应调节的微波干燥装置，能够有效地清除晶圆上的水分，进而固化纳米图形结构，并且干燥过程不会导致这些结构塌陷。