[发明专利]一种纳米操作装置有效

专利信息
申请号: 201811647147.4 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109502543B 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 杨立军;王根旺;王扬;侯超剑;龙昊天;丁烨;赵春洋 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: B82B3/00 分类号: B82B3/00;B82Y40/00
代理公司: 11473 北京隆源天恒知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 闫冬;鞠永帅<国际申请>=<国际公布>=
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙;23
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摘要: 发明提供了一种纳米操作装置,涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米操作装置包括:第一运动机构、第二运动机构和控制装置,所述第一运动机构具有多个平动自由度和至少一个旋转自由度,所述第二运动机构具有多个旋转自由度和至少一个平动自由度,所述第一运动机构和所述第二运动机构上均安装有执行端,所述第一运动机构和所述第二运动机构分别与所述控制装置相连接,所述控制装置适于控制所述第一运动机构和所述第二运动机构带动所述执行端运动。本发明通过在所述第一运动机构和所述第二运动机构上安装执行端,通过多个所述执行端的配合使用而形成微镊子,实现对所述纳米线或纳米颗粒的夹取。
搜索关键词: 运动机构 纳米操作装置 控制装置 平动自由度 旋转自由度 加工制造技术 镊子 纳米颗粒 纳米线 夹取
【主权项】:
1.一种纳米操作装置,其特征在于,包括:第一运动机构(203)、第二运动机构(204)、粗定位样品台(201)、精定位样品台(202)和控制装置(107),所述第一运动机构(203)和所述第二运动机构(204)悬挂安装于真空腔(101)顶部,所述粗定位样品台(201)与所述精定位样品台(202)固定连接,所述精定位样品台(202)通过所述粗定位样品台(201)安装于所述真空腔(101)的舱门,所述精定位样品台(202)适于置放纳米结构并带动所述纳米结构移动,所述粗定位样品台(201)适于带动所述精定位样品台(202)运动,所述精定位样品台(202)位于所述第一运动机构(203)和所述第二运动机构(204)的下方;所述第一运动机构(203)具有多个平动自由度和至少一个旋转自由度,所述第二运动机构(204)具有多个旋转自由度和至少一个平动自由度,所述第一运动机构(203)和所述第二运动机构(204)上均安装有执行端,所述第一运动机构(203)和所述第二运动机构(204)分别与所述控制装置(107)相连接,所述控制装置(107)适于控制所述第一运动机构(203)和所述第二运动机构(204)带动所述执行端运动。/n
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