[发明专利]一种多振镜系统的校正方法及多振镜校正系统

摘要

本发明提供了一种多振镜系统的校正方法及应用其的多振镜系统，多振镜系统的校正方法应用于多振镜校正系统，多振镜校正系统包括：移动平台、CCD相机、控制器和至少两个振镜，控制器控制移动平台和振镜进行扫描动作，CCD相机的扫描坐标系C0和移动平台的工作坐标系M0重合，多振镜系统的校正方法包括：对至少两个振镜分别进行单个振镜校定；对至少两个振镜进行角度偏移校正；对至少两个振镜进行位置偏移校正。先对各个振镜分别进行校定，之后调整各个振镜与角度基准振镜之间的角度误差，最后调整各个振镜与位置基准振镜之间的位置误差，使得本发明的多振镜系统的校正方法能够减少多振镜系统的误差，从而提高多振镜系统整体的加工精度。

主权项

1.一种多振镜系统的校正方法，应用于多振镜校正系统，所述多振镜校正系统包括：移动平台、CCD相机、控制器和至少两个振镜，所述控制器控制所述移动平台和所述至少两个振镜进行扫描动作，所述CCD相机的扫描坐标系C₀和所述移动平台的工作坐标系M₀重合，其特征在于，所述多振镜系统的校正方法包括：对所述至少两个振镜分别进行单个振镜校定：用对应所述振镜将激光标记到所述移动平台上，获取对应激光标记到所述移动平台上时的实际位置和理想位置之间的位置差值，所述控制器将所述位置差值作为位置补偿值补偿到对应的所述振镜的扫描动作控制程序中；对所述至少两个振镜进行角度偏移校正：用各所述振镜分别将激光在所述移动平台上标记线段，任选一个所述振镜作为角度基准振镜并将其对应的线段作为基准，获取各所述振镜对应的线段相对所述角度基准振镜对应的基准线段的角度偏移值，所述控制器将所述角度偏移值作为角度偏移补偿值补偿到对应的所述振镜的扫描动作控制程序中；对所述至少两个振镜进行位置偏移校正：用各所述振镜分别将激光在所述移动平台上标记点，任选一个所述振镜作为位置基准振镜并将对应的点作为基准，获取各所述振镜对应点相对所述位置基准振镜的对应基准点的位置偏移值，所述控制器将所述位置偏移值作为位置偏移补偿值补偿到对应的所述振镜的扫描动作控制程序中。