[发明专利]ITO板状靶材高温烧结用高纯度重结晶碳化硅陶瓷的生产方法在审
| 申请号： | 201811648655.4 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN109678514A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 郭啸鹏;郭玉广;刘啸龙 | 申请（专利权）人： | 唐山富达莱新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565 |
| 代理公司： | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人： | 明淑娟 |
| 地址： | 063000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及碳化硅特种陶瓷的技术领域，本发明涉及碳化硅特种陶瓷的技术领域，尤其是一种ITO板状靶材用高纯度重结晶碳化硅陶瓷的生产方法。在重结晶碳化硅原材料的基础上，添加占原材料总质量比0.1％～5％的硅溶胶；利用石膏模具注浆成型获得所需形状的坯体；坯体干燥后，通过高温烧结为陶瓷制品，高温炉内烧成温度为2500℃。与现有技术相比，本发明不仅去除了原材料中的杂质有机碳，提高了重结晶碳化硅陶瓷的纯度，而且又提高了重结晶碳化硅陶瓷的密度，延长了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 重结晶碳化硅 陶瓷 板状靶材 高温烧结 特种陶瓷 高纯度 碳化硅 坯体干燥 石膏模具 使用寿命 陶瓷制品 注浆成型 高温炉 硅溶胶 有机碳 质量比 坯体 烧成 生产 | ||
【主权项】：
1.一种ITO板状靶材高温烧结用高纯度重结晶碳化硅陶瓷的生产方法，其特征在于：按如下步骤进行：1)配置料浆：在重结晶碳化硅原材料的基础上，添加占原材料总质量比0.1％～5％的硅溶胶；2)注浆成型：利用石膏模具注浆成型获得所需形状的坯体；3)烧制成型：坯体干燥后，通过高温烧结为陶瓷制品，高温炉内烧成温度为2500℃。
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