[发明专利]环形激光器电极铟封质量检测方法及系统在审
申请号: | 201811648731.1 | 申请日: | 2018-12-30 |
公开(公告)号: | CN109580187A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 刘文明;郭岩龙;王鹏;杨长城;李林军;陈超人 | 申请(专利权)人: | 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团有限公司第七一七研究所) |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 许美红 |
地址: | 430223 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种环形激光器电极铟封质量检测方法及系统,其中系统包括线偏振光源和偏振光成像机构,所述线偏振光源产生的线偏振光斜入射玻璃腔体照射到玻璃腔体与铟圈界面上,并形成混合反射光,所述混合反射光经过偏振光成像机构成像,所述偏振光成像系统包括1/4波片、检偏器和工业CCD相机,所述1/4波片和检偏器可有效滤处玻璃腔体产生的反射光而只让铟圈区域的反射光成像。本发明的环形激光器电极铟封质量检测系统消除了玻璃腔体表面反射杂光,增加了铟圈成像的对比度,使封接瑕疵更容易观测,提高铟圈检测的质量。 | ||
搜索关键词: | 玻璃腔体 环形激光器 偏振光成像 电极 混合反射光 线偏振光源 质量检测 检偏器 波片 成像 质量检测系统 工业CCD相机 反射光成像 表面反射 线偏振光 反射光 斜入射 封接 圈界 杂光 瑕疵 照射 观测 检测 | ||
【主权项】:
1.一种环形激光器电极铟封质量检测系统,其特征在于,包括线偏振光源和偏振光成像机构;所述线偏振光源包括光源、抛物面反射镜、毛玻璃和起偏器,所述光源发出的光经过所述抛物面反射镜准直后入射所述毛玻璃,经散射匀光后再入射所述起偏器,转化为线偏振光;所述偏振光成像机构包括1/4波片、检偏器和工业CCD相机,所述线偏振光呈一定角度入射环形激光器的玻璃腔体,照射到环形激光器的玻璃腔体与铟圈界面上,并在界面形成混合反射光,所述混合反射光经过所述 1/4波片,并通过所述检偏器过滤后,进入所述工业CCD相机成像。
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