[发明专利]激光调阻在线检测机构和检测方法在审
| 申请号： | 201811648780.5 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN109521025A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 柯梽全;成学平 | 申请（专利权）人： | 深圳市杰普特光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;H01C17/242 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 逯恒 |
| 地址： | 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及调阻机技术领域，尤其是涉及一种激光调阻在线检测机构和检测方法。激光调阻在线检测机构包括信息处理系统、摄像装置、载台、输送装置和激光模组；载台设置在输送装置上；输送装置的两端分别设置在摄像装置和激光模组的下方，用于带动载台在摄像装置和激光模组下方做往复运动；信息处理系统分别与摄像装置和激光模组信号连接。激光调阻在线检测方法为，先对基板进行定级评定，再根据定级评定信息进行修阻调整，之后再对基板进行二次定级评定。本发明通过输送装置的往复运动，实现了修阻后的自动检测，避免了人工检测出现的误差，保证了准确率，且节省了人工。 | ||
| 搜索关键词： | 激光调阻 激光模组 摄像装置 输送装置 在线检测机构 载台 信息处理系统 评定 对基板 人工检测 信号连接 在线检测 自动检测 调阻机 检测 准确率 保证 | ||
【主权项】：
1.一种激光调阻在线检测机构，其特征在于，包括信息处理系统、摄像装置、载台、输送装置和激光模组；所述载台设置在所述输送装置上；所述输送装置的两端分别设置在所述摄像装置和所述激光模组的下方，用于带动所述载台在所述摄像装置和所述激光模组下方做往复运动；所述信息处理系统分别与所述摄像装置和所述激光模组信号连接。
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