[发明专利]薄膜压力传感器校准仪在审
| 申请号： | 201811649037.1 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN109489899A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 许启铿;马世举;刘强;揣君;陈家豪;戈学亮;张斌;武书增 | 申请（专利权）人： | 河南工业大学 |
| 主分类号： | G01L25/00 | 分类号： | G01L25/00 |
| 代理公司： | 郑州华隆知识产权代理事务所(普通合伙) 41144 | 代理人： | 徐小磊 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜压力传感器校准仪，包括装置支架，装置支架上设置有用于相应薄膜压力传感器放置的放置平面，装置支架上于所述放置平面的上侧分布有多个校准单元，各校准单元均包括竖向布置的由刚性材料制成的用于填充液体的校准缸体，每个校准缸体的下端均设有分别用于对薄膜压力传感器上的对应电极点施压的气囊，气囊由柔性材料制成，气囊与所述校准缸体的内腔相通，校准缸体的上端沿上下方向导向移动装配有承载活塞，承载活塞上端具有用于相应砝码放置的承载面，薄膜压力传感器校准仪还包括用于检测所述校准缸体内液压的压力传感器。本发明提供了一种不易损伤薄膜压力传感器的薄膜压力传感器校准仪。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜压力传感器 校准 校准仪 缸体 装置支架 气囊 放置平面 校准单元 活塞 上端 承载 压力传感器 导向移动 刚性材料 内腔相通 柔性材料 上下方向 竖向布置 填充液体 承载面 电极点 施压 下端 砝码 装配 损伤 体内 检测 | ||
【主权项】：
1.薄膜压力传感器校准仪，包括装置支架，其特征在于：装置支架上设置有用于相应薄膜压力传感器放置的放置平面，装置支架上于所述放置平面的上侧分布有多个校准单元，各校准单元均包括竖向布置的由刚性材料制成的用于填充液体的校准缸体，每个校准缸体的下端均设有分别用于对薄膜压力传感器上的对应电极点施压的气囊，气囊由柔性材料制成，气囊与所述校准缸体的内腔相通，校准缸体的上端沿上下方向导向移动装配有承载活塞，承载活塞上端具有用于相应砝码放置的承载面，薄膜压力传感器校准仪还包括用于检测所述校准缸体内液压的压力传感器。
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