[发明专利]一种低压扩散炉在审
| 申请号： | 201811651087.3 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN110172737A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 丁志强;刘列;彭云 | 申请（专利权）人： | 天合光能股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 郭小丽 |
| 地址： | 213022 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种低压扩散炉，包括炉体，所述炉体包括炉管以及炉门，还包括真空泵、驱动炉门开启的退出推进气缸组件以及驱动炉门关闭的压紧松开气缸组件，所述炉管的尾部包括两个接口，其中一个接口与所述真空泵之间通过密封管道连接，另一个接口为进气源口，与外部管路连接。本发明可以充分利用现有闲置的常压扩散炉，将其改进为低压扩散炉，大大降低了成本，并且使得资源得到充分利用。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散炉 真空泵 炉管 炉体 推进气缸组件 驱动 炉门关闭 炉门开启 密封管道 气缸组件 外部管路 进气源 松开 常压 炉门 压紧 闲置 退出 改进 | ||
【主权项】：
1.一种低压扩散炉，包括炉体，所述炉体包括炉管以及炉门，其特征在于，还包括真空泵、驱动炉门开启的退出推进气缸组件以及驱动炉门关闭的压紧松开气缸组件，所述炉管的尾部包括两个接口，其中一个接口与所述真空泵之间通过密封管道连接，另一个接口为进气源口，与外部管路连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天合光能股份有限公司，未经天合光能股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811651087.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
