[发明专利]一种柔性透明金属导电薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811652919.3 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109859882B 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 陈薪宇;李旸;陈星遥;葛海雄;袁长胜;崔玉双 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: H01L33/38 分类号: H01L33/38;H01B5/14;H01B13/00;B81C1/00
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 李静
地址: 210046 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于微纳米加工技术领域,具体涉及一种柔性透明金属导电薄膜及其制备方法。该柔性透明金属导电薄膜,包括纳米圆孔阵列的金属薄膜和柔性透明衬底,该薄膜具有直径不均匀的无序金属纳米圆孔,具有较好的光学透明度、导电性和机械柔性;由于金属圆孔间隙尺寸不均一,有效消除了周期性微纳米结构的光学衍射产生的宏观彩虹效应,可以很好的应用于触摸屏显示领域和可穿戴设备上。该制备方法包括在衬底上旋涂高分子层、沉积SiO2层、旋涂共混聚合物溶液形成相分离薄膜,经刻蚀、蒸镀、举离后得到直径分布不均匀的无序纳米圆孔阵列的金属薄膜。该制备方法得到的柔性透明金属导电薄膜的圆孔形状完整、薄膜面积大且具有高光学透明度和高导电性。
搜索关键词: 一种 柔性 透明 金属 导电 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种柔性透明金属导电薄膜,其特征在于,包括具有纳米圆孔阵列的金属薄膜和柔性透明衬底;所述纳米圆孔的直径为200‑500nm,孔之间的平均间隔为30‑200nm。
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