[发明专利]一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备

摘要

本发明公开了一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备，涉及PVD设备技术领域，该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备，包括：固定卡头，固定卡头的顶部活动连接卡接头的外侧，固定卡头的顶部固定连接保护件的底部，固定卡头的底部活动连接吊杆的外侧，吊杆的两侧一端均开设有凹槽。该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备，通过固定卡头保证了PVD设备的稳定，方便PVD设备高度的调整，通过螺纹板与螺纹筒的连接方便了固定卡头的更换，方便吊起不同规格的PVD设备，通过橡胶杆可以降低PVD设备在吊起时产生的下坠力，保证了PVD设备的安全，通过限位杆加固了吊杆的稳定，通过欠压保护模块可以有效的保护PVD设备电路的安全。

主权项

1.一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备，其特征在于，包括：固定卡头(1)，所述固定卡头(1)的顶部活动连接卡接头(2)的外侧，所述固定卡头(1)的顶部固定连接保护件(3)的底部，所述固定卡头(1)的底部活动连接吊杆(4)的外侧，所述吊杆(4)的两侧顶部均开设有凹槽(5)；固定架(6)，固定架(6)的两端分别与固定卡头(1)的两侧内壁固定连接，所述固定架(6)的顶部固定连接螺纹筒(7)的底部，螺纹筒(7)的顶部与固定卡头(1)的内顶壁固定连接，所述螺纹筒(7)的内部活动连接有螺纹板(8)；所述固定架(6)的底部两端均通过销轴活动连接连动杆(9)的顶部，所述连动杆(9)的底部一侧固定连接橡胶杆(10)的一端，所述连动杆(9)的底部通过销轴活动连接卡板(11)的顶部，所述卡板(11)的底部两端均固定连接海绵垫(12)的顶部；框架(13)，所述框架(13)的一侧开设有活动槽(14)，所述活动槽(14)的内部固定连接有滑动杆(15)，所述活动槽(14)的内底壁固定连接弹簧(16)的底部，弹簧(16)环绕在滑动杆(15)的外表面，所述滑动杆(15)的外侧活动连接滑动套(17)的内部，所述滑动套(17)的一侧固定连接有限位杆(18)的一端；电源(19)，所述电源(19)的输出端电连接接主控室(20)的输入端，主控室(20)的内部设置有主控CPU(21)和信号收发模块(22)，所述主控室(20)的连接端双向信号连接PVD电路(23)的连接端，PVD电路(23)的内部设置有无线收发模块(24)、电路开关(25)、PVD设备(26)和欠压保护模块(27)。