[发明专利]电迁移测试结构及测试方法有效
| 申请号： | 201811654050.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109742066B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 朱月芹;周柯;陈雷刚 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电迁移测试结构，包括金属测试结构，所述金属测试结构具有首端和末端，所述金属测试结构包括至少两条金属测试线；金属连接结构，其与所述金属测试结构的首端和末端电连接以使所述金属测试结构中的金属测试线并联，所述金属连接结构还设有加载电流节点和量测电压节点，所述加载电流节点用于施加所述第一测试金属线及第二测试金属线的电流，所述量测电压节点用于量测所述第一测试金属线及第二测试金属线并联后的电压。本发明能提升测试系统对于每个测试样品的失效时间判断并能提升测试寿命的推荐准确性。本发明还公开了一种电迁移测试结构测试方法。 | ||
| 搜索关键词： | 迁移 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电迁移测试结构，其特征在于，包括：金属测试结构，所述金属测试结构具有首端和末端，所述金属测试结构包括至少两条金属测试线；金属连接结构，其与所述金属测试结构的首端和末端电连接以使所述金属测试结构中的金属测试线并联，所述金属连接结构还设有加载电流节点和量测电压节点，所述加载电流节点用于施加所述第一测试金属线及第二测试金属线的电流，所述量测电压节点用于量测所述第一测试金属线及第二测试金属线并联后的电压。
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