[发明专利]一种阿尔法氧化铝磨料在PI材料抛光中的用途有效
| 申请号： | 201811654586.8 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111378385B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 李守田;尹先升;贾长征 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;王芳 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种阿尔法氧化铝磨料在PI材料抛光中的用途，其中，所述阿尔法氧化铝磨料混合于化学机械抛光液形成组合物使用，所述阿尔法氧化铝磨料的含量为0.1％‑1.0％，所述化学机械抛光液在pH7的范围内具有良好的胶体稳定性。本发明使用阿尔法氧化铝磨料，通过控制所述阿尔法氧化铝的含量和抛光液的pH值，提高了对PI材料的抛光速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阿尔法 氧化铝 磨料 pi 材料 抛光 中的 用途 | ||
【主权项】：
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