[实用新型]一种防微振平台

摘要

本实用新型提供了一种防微振平台，该平台包括：平台本体以及环绕设置在平台本体上的围护墙，还包括设置在围护墙顶部且与平台本体相对的过滤器；其中，平台本体包括第一平台层以及第二平台层，第一平台层包括楼板，以及支撑楼板的多个交叉设置的梁，还包括支撑第一平台层及第二平台层的多个支撑柱。在上述实施例中，通过改善支撑第一平台层的支撑柱的结构、支撑柱之间的间隙与第一平台层的厚度的配合，使得防微振平台能够满足工艺生产区洁净度要求空气从上而下垂直层流的条件下，完成气流循环，垂直方向振动满足微振动控制标准VC‑D(即6.25微米/秒)的要求，提高了防微振效果。

主权项

1.一种防微振平台，其特征在于，包括：平台本体以及环绕设置在所述平台本体上的围护墙，还包括设置在所述围护墙顶部且与所述平台本体相对的过滤器；其中，所述平台本体包括沿竖直方向层叠的第一平台层以及第二平台层，且所述第一平台层位于所述第二平台层上方；其中，所述第一平台层包括楼板，以及支撑所述楼板的多个交叉设置的梁，所述楼板上介于交叉设置的梁之间的间隙位置设置有多个通孔；还包括多个支撑柱，且每个支撑柱包括第一支撑柱以及第二支撑柱，且所述第二支撑柱的端面面积小于所述第一支撑柱的端面面积，所述第一支撑柱的横截面为倒置的梯形；其中，所述第一支撑柱与所述第一平台层连接，所述第二支撑柱穿过所述第二平台层并与所述第二平台层固定连接；所述过滤器吹出的气体穿过所述第一平台层上的通孔后在所述第一平台层及第二平台层之间的空隙吹出。