[实用新型]一种单晶炉提拉头动平衡校验装置有效
| 申请号： | 201820011386.X | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207775387U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 万喜增;胡卫红;杨高林 | 申请（专利权）人： | 浙江中晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 韩燕燕;连围 |
| 地址： | 313100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供种单晶炉提拉头动平衡校验装置，包括标准平板、放置板、籽晶提拉部固定组件、旋转防倾斜保护组件以及悬浮式支撑组件；籽晶提拉部固定组件设置于放置板上，该籽晶提拉部固定组件包括下连接板、支撑件以及籽晶提拉部放置件；旋转防倾斜保护组件包括三组沿放置板周向均布的防倾斜保护件；悬浮式支撑组件包括一端与标准平板相连接其另一端与所述放置板点接触的缓冲调节件、大小调节件；通过设置籽晶提拉部固定组件对籽晶提拉部进行固定，并配合悬浮式支撑组件的点接触对籽晶提拉部固定组件进行籽晶提拉部转动过程中高精度的动平衡校验，解决了籽晶提拉部会因质量分布不均匀而造成转动的不平稳影响单晶硅的均匀性的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 提拉部 籽晶 固定组件 放置板 悬浮式支撑 防倾斜 动平衡校验装置 单晶炉提拉头 保护组件 标准平板 点接触 本实用新型 动平衡校验 单晶硅 大小调节 缓冲调节 下连接板 质量分布 周向均布 转动过程 组件包括 保护件 不均匀 放置件 均匀性 支撑件 转动 不平 配合 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉提拉头动平衡校验装置，包括标准平板(1)、设置于所述标准平板(1)上方的放置板(2)，其特征在于，还包括：籽晶提拉部固定组件(3)，所述籽晶提拉部固定组件(3)设置于所述放置板(2)上，该籽晶提拉部固定组件(3)包括固定连接于所述放置板(2)上的下连接板(31)、与所述下连接板(31)相连接的支撑件(32)以及设置于所述支撑件(32)上的籽晶提拉部放置件(33)；旋转防倾斜保护组件(4)，所述旋转防倾斜保护组件(4)包括三组沿放置板(2)周向均布的防倾斜保护件(41)，该防倾斜保护件(41)一端穿设于所述放置板(2)上其另一端与所述标准平板(1)相连接；以及悬浮式支撑组件(5)，所述悬浮式支撑组件(5)包括一端与所述标准平板(1)相连接其另一端与所述放置板(2)点接触的缓冲调节件(51)、一端转动设置于所述放置板(2)上且其另一端与所述下连接板(31)接触设置的大小调节件(52)。
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