[实用新型]一种计米式钽酸锂单晶棒生长称重系统有效
申请号: | 201820025542.8 | 申请日: | 2018-01-06 |
公开(公告)号: | CN207685406U | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 徐国忠 | 申请(专利权)人: | 盐城市振弘电子材料厂 |
主分类号: | C30B15/28 | 分类号: | C30B15/28;C30B29/30;C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 224021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种计米式钽酸锂单晶棒生长称重系统,它包括:炉体;拉制组件;计米组件,所述计米组件包括设置于所述壳体内且与所述提拉绳相配合的一对计米轮、安装在所述壳体外壁上且与所述计米轮相配合的计米器、设置于所述基板上方且套设于所述提拉绳上的摩擦环以及一端与所述摩擦环相连接且另一端与所述基板相连接的多根柔性绳。这样能够实现对提拉绳移动距离的精确测量,进而对仔晶杆提拉的钽酸锂单晶棒进行精确量化测量。 | ||
搜索关键词: | 计米 钽酸锂单晶 提拉绳 称重系统 计米轮 摩擦环 基板 测量 本实用新型 壳体外壁 组件包括 拉制 计米器 柔性绳 生长 杆提 炉体 仔晶 配合 体内 量化 | ||
【主权项】:
1.一种计米式钽酸锂单晶棒生长称重系统,其特征在于,它包括:炉体(1);拉制组件(2),所述拉制组件(2)包括安装在所述炉体(1)顶部的基板(21)、安装在所述基板(21)上表面的支撑座(22)、设置于所述支撑座(22)上方的转轴(23)、安装在所述支撑座(22)上且与所述转轴(23)端部相连接的电机(24)、一端卷绕在所述转轴(23)上且另一端延伸至所述炉体(1)内的提拉绳(26)、安装在所述提拉绳(26)另一端的仔晶杆(27)以及安装在所述基板(21)上表面且罩在所述转轴(23)外的壳体(25);计米组件(3),所述计米组件(3)包括设置于所述壳体(25)内且与所述提拉绳(26)相配合的一对计米轮(31)、安装在所述壳体(25)外壁上且与所述计米轮(31)相配合的计米器(32)、设置于所述基板(21)上方且套设于所述提拉绳(26)上的摩擦环(33)以及一端与所述摩擦环(33)相连接且另一端与所述基板(21)相连接的多根柔性绳(34)。
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