[实用新型]一种新型传感器单晶硅刻蚀装置

摘要

本实用新型公开了一种新型传感器单晶硅刻蚀装置，包括：反应箱、气源室、进气管、出气管、抽气装置、片架、旋转电机、固定座、立柱、滚动球、环形托架、隔热衬套、电磁线圈，反应箱的底壁上连接一根出气管，出气管另一端与抽气装置连接，旋转电机输出轴向上穿过反应箱底壁后末端固接一个固定座，片架固接在固定座上端面处，固定座下端面上周向均匀地固接有四根立柱，且每个立柱的下端均转动安装一个滚动球，滚动球下端置于环形槽内，反应箱外壁上固接有若干环形托架，每个环形托架上端面处均开有一个环形凹槽，环形凹槽槽底及两侧壁上均固设有隔热衬套，电磁线圈嵌装环形凹槽内。本实用新型具有结构新颖、使用寿命长的优点。

主权项

1.一种新型传感器单晶硅刻蚀装置，包括：反应箱、气源室、进气管、出气管、抽气装置、片架、旋转电机、固定座、立柱、滚动球、环形托架、隔热衬套、电磁线圈，所述反应箱与气源室之间通过进气管连接，所述反应箱的底壁上连接一根出气管，所述出气管不与反应箱连接的另一端与抽气装置连接，其特征在于：所述旋转电机固定安装在反应箱下端面，所述旋转电机输出轴向上穿过反应箱底壁后末端固接一个固定座，所述片架固接在固定座上端面处，所述固定座下端面上周向均匀地固接有四根立柱，所述立柱竖直设置，且每个立柱的下端均转动安装一个滚动球，所述反应箱底壁上开有环形槽，所述滚动球下端置于环形槽内，所述反应箱外壁上固接有若干环形托架，所述环形托架水平设置且在竖直方向上呈层状分布，每个环形托架上端面处均开有一个环形凹槽，所述环形凹槽槽底及两侧壁上均固设有隔热衬套，所述电磁线圈嵌装在设有隔热衬套的环形凹槽内。