[实用新型]一种用于传感器单晶硅刻蚀中的片架定位装置有效
| 申请号： | 201820029397.0 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN207966916U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 张如根 | 申请（专利权）人： | 蚌埠市龙子湖区金力传感器厂 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/68 |
| 代理公司： | 安徽力澜律师事务所 34127 | 代理人： | 王际复 |
| 地址： | 233000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于传感器单晶硅刻蚀中的片架定位装置，包括：反应箱、气源室、进气管、出气管、抽气装置、片架、旋转电机、固定座、立柱、滚动球，所述气源室设置在反应箱的一侧，所述反应箱与气源室之间通过进气管连接，所述反应箱的底壁上连接一根出气管，所述出气管不与反应箱连接的另一端与抽气装置连接，所述旋转电机固定安装在反应箱下端面，所述旋转电机输出轴向上穿过反应箱底壁后末端固接一个固定座，所述片架固接在固定座上端面处，所述固定座下端面上周向均匀地固接有若干立柱，且每个立柱的下端均转动安装一个滚动球，所述反应箱底壁上开有环形槽，所述滚动球下端置于环形槽内。本实用新型具有结构新颖、使用寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 反应箱 片架 出气管 固定座 滚动球 气源室 固接 立柱 单晶硅 本实用新型 定位装置 旋转电机 环形槽 进气管 下端面 箱底壁 传感器 刻蚀 下端 旋转电机输出轴 抽气装置连接 固定座上端面 抽气装置 使用寿命 转动安装 底壁 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种用于传感器单晶硅刻蚀中的片架定位装置，包括：反应箱、气源室、进气管、出气管、抽气装置、片架、旋转电机、固定座、立柱、滚动球，所述气源室设置在反应箱的一侧，所述反应箱与气源室之间通过进气管连接，所述反应箱的底壁上连接一根出气管，所述出气管不与反应箱连接的另一端与抽气装置连接，其特征在于：所述片架设置在反应箱的内部，所述旋转电机固定安装在反应箱下端面，所述旋转电机输出轴向上穿过反应箱底壁后末端固接一个固定座，所述片架固接在固定座上端面处，所述固定座下端面上周向均匀地固接有若干立柱，所述立柱竖直设置，且每个立柱的下端均转动安装一个滚动球，所述反应箱底壁上开有环形槽，所述滚动球下端置于环形槽内。
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