[实用新型]一种电容压力传感器有效
| 申请号： | 201820031897.8 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN207689061U | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 雷芬;薛光明;王君 | 申请（专利权）人： | 上海润璋电气设备有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L1/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200135 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电容压力传感器，包括测量膜片以及固定在测量膜片上下两面的固定极板，上下两个所述固定极板和测量膜片之间形成对称的两个压腔，压腔内部均设置有环形隔离盘，压腔通过进气口连通外部环境，压腔和进气口外部配套设置有对应的球面基座，进气口穿过球面基座固定在外罩上，进气口至压腔处依次设置有隔离膜片和硅油；本实用新型使用差动电容式压力传感器比传统单电容式的灵敏度高、线性度好，在实现对被测气体测量时，且使用隔离膜片和硅油对被测气体进行过滤，将腐蚀性物质进行隔离，可适应更多的使用环境，大大提高差动式压力传感器的使用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 进气口 压腔 测量膜 电容压力传感器 本实用新型 压力传感器 被测气体 隔离膜片 固定极板 球面基座 硅油 差动电容式 腐蚀性物质 环形隔离盘 使用环境 外部环境 依次设置 灵敏度 差动式 单电容 线性度 外罩 连通 对称 过滤 测量 穿过 隔离 外部 配套 | ||
【主权项】：
1.一种电容压力传感器，其特征在于，包括测量膜片（1）以及固定在测量膜片（1）上下两面的固定极板（3），上下两个所述固定极板（3）和测量膜片（1）之间形成对称的两个压腔（5），压腔（5）内部均设置有环形隔离盘（2），压腔（5）通过进气口（9）连通外部环境，压腔（5）和进气口（9）外部配套设置有对应的球面基座（6），进气口（9）穿过球面基座（6）固定在外罩（10）上，进气口（9）至压腔（5）处依次设置有隔离膜片（8）和硅油（7）。
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