[实用新型]立式周向循环连续式类金刚石涂层设备

摘要

本实用新型涉及一种立式周向循环连续式类金刚石涂层设备，包括主腔室、进料腔室及进料口开合系统、类金刚石涂层工艺子腔室及类金刚石涂层工艺组件、转架系统、腔室升降系统、真空系统及真空管道，真空系统将主腔室、进料腔室及类金刚石涂层工艺子腔室通过各自独立的真空管道进行真空处理，进料腔室及类金刚石涂层工艺腔室在与主腔室联通的状态及独立真空腔室的状态之间切换，类金刚石涂层工艺组件侧向安装于各类金刚石涂层工艺子腔室，并通过可收缩的波纹管道连接于真空室外。转架系统包括转盘、双转盘转动机构、转盘转动机构驱动转盘公转或定点自转，将工件在进料腔室及类金刚石涂层工艺腔室之间传递及镀膜，实现周向快速连续式类金刚石涂层制备。

主权项

1.一种立式周向循环连续式类金刚石涂层设备，其特征在于：包括主腔室、进料腔室及进料口开合系统、类金刚石涂层工艺子腔室及类金刚石涂层工艺组件、可定点自转的转架系统、真空系统及真空管道，真空系统将主腔室、进料腔室及类金刚石涂层工艺子腔室通过各自独立的真空管道进行真空处理，进料腔室及类金刚石涂层工艺子腔室的真空管道通过波纹管连接于主腔室及真空系统，进料腔室及类金刚石涂层工艺子腔室通过气动升降机构驱动进料腔室及类金刚石涂层工艺腔室升降，将进料腔室及类金刚石涂层工艺腔室在与主腔室联通的状态及独立真空腔室的状态之间切换，类金刚石涂层工艺组件侧向安装于各类金刚石涂层工艺子腔室，并通过可收缩的波纹管道连接于真空室外,类金刚石涂层工艺组件依次为离子清洗模块、过渡涂层模块、沉积类金刚石涂层模块,转架系统包括转盘、双转盘转动机构、转盘转动机构驱动转盘公转或定点自转，将待镀工件在进料腔室及类金刚石涂层工艺腔室之间传递及定点自转镀膜。