[实用新型]一种单晶金刚石制备装置有效
| 申请号： | 201820044519.3 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN207891458U | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 江南;张军安;胡付生;马洪兵;褚伍波 | 申请（专利权）人： | 宁波晶钻工业科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/02 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 胡拥军 |
| 地址： | 315200 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶金刚石制备装置，包括用于进行等离子体气相沉积的反应腔以及与反应腔连通的第一进气通道和第二进气通道，第二进气通道的路径上设有掺杂装置，掺杂装置用于盛放水溶液，气体通过第二进气通道进入反应腔之前，先经过掺杂装置，以在气体中混合有水蒸气。在制备单晶金刚石的过程中，使反应气体经过掺杂装置，从而将水蒸气带入到反应腔内，实验结果表明，通入水蒸气制得的金刚石颜色和纯净度比不通水蒸气更好，而且外缘处的几乎无多晶产生。 | ||
| 搜索关键词： | 水蒸气 掺杂装置 进气通道 反应腔 单晶金刚石 制备装置 纯净度 等离子体气相沉积 本实用新型 金刚石颜色 反应气体 气体通过 外缘处 盛放 制备 连通 | ||
【主权项】：
1.一种单晶金刚石制备装置，包括用于进行等离子体气相沉积的反应腔，其特征在于，所述单晶金刚石制备装置还包括与所述反应腔连通的第一进气通道和第二进气通道以及设于所述第二进气通道进气路径上的掺杂装置，所述掺杂装置用于盛放水溶液，反应气体通过所述第二进气通道进入所述反应腔之前，先经过所述掺杂装置，从而将水蒸气带入所述反应腔。
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