[实用新型]一种硅片装片机用翻转模组

摘要

本实用新型涉及一种硅片装片机用翻转模组。当前，企业主要采用电机旋转的方式进行翻转，这种方式翻转效率低，可靠性太低，容易发生故障，容易损坏片篮，并且因为各种片篮的外形尺寸都不一样，所以各种翻转装置都不能通用。本实用新型涉及一种硅片装片机用翻转模组，其中：连接座、第一安装座通过螺栓安装于装片机机架上，笔形气缸安装于连接座上，并通过圆柱销与连接座活动连接，笔形气缸内的活塞杆通过圆柱销与翻转板活动连接。本装置特殊结构的翻转装置实现对满篮硅片的片篮进行翻转，使片篮翻转更平稳、更可靠、更高效。保证片篮能快速平稳的翻转到所需平面。

主权项

1.一种硅片装片机用翻转模组，包括装片机机架（1）、连接座（2）、笔型气缸（3）、氮气弹簧（4）、第一安装座（5）、第一旋转轴（6）、第二旋转轴（7）、翻转板（8）、旋转安装板（9）、支撑座（10）、第二安装座（11）、摆动气缸（12）、联轴器（13）、第一气缸（14）、连接板（15）、直线轴承（16）；其特征在于：连接座（2）、第一安装座（5）通过螺栓安装于装片机机架（1）上，笔形气缸（3）安装于连接座（2）上，并通过圆柱销与连接座（2）活动连接，笔形气缸（3）内的活塞杆通过圆柱销与翻转板（8）活动连接，两个氮气弹簧（4）安装与连接座（2）上，并通过圆柱销与连接座（2）活动连接，氮气弹簧（4）的末端通过圆柱销与翻转板（8）活动连接，两个氮气弹簧（4）设置于笔型气缸（3）两侧，翻转板（8）通过第一旋转轴（6）与第一安装座（5）活动连接，翻转板（8）上安装有第二安装座（11），第二安装座（11）安装于翻转板（8）上，摆动气缸（12）安装于第二安装座（11）上，支撑座（10）安装于翻转板（8）上，支撑座（10）与第二旋转轴（7）活动连接，第二旋转轴（7）一端通过联轴器（13）与摆动气缸（12）连接，其另一端与旋转安装板（9）连接，连接板（15）、直线轴承（16）固定于旋转安装板（9）上，第一气缸（14）固定于连接板（15）上，导向板（18）固定于旋转安装板（9）上，连接块（19）安装于旋转安装板（9）上，第二气缸（20）安装于旋转安装板（9）上，挡块（21）固定于直线导轨（26），旋转安装板（9）通过角接触球轴承（22）与支撑轴（27）活动连接，支撑轴（27）端部安装于翻转板（8）上，定位轴（25）通过直线轴承（16）与连接板（15）连接，输送机构（24）安装于旋转安装板（9）上，挡块（21）上安装有光电传感器（28）。