[实用新型]一种薄膜真空镀铝设备的蒸发冷却降温系统有效
| 申请号： | 201820059738.9 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN207713810U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李峰杰;唐卓灿;唐炎峰;颜晓阳 | 申请（专利权）人： | 广东雄华新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14 |
| 代理公司： | 汕头市高科专利事务所 44103 | 代理人： | 唐瑞玉 |
| 地址： | 515065 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种薄膜真空镀铝设备的蒸发冷却降温系统，包括蒸发槽、位于蒸发槽内的蒸发舟和正负电极，正负电极为卧式圆柱体且轴心带有横向凸块，正电极通过绝缘套固定于蒸发槽的左侧板，负电极直接固定于蒸发槽的右侧板，正电极和负电极的横向凸块正对，蒸发舟的两端固定于正负电极的横向凸块顶面上；正电极在其横向凸块相对的一侧开设有水平的凹腔，凹腔内设有循环冷却水管，蒸发槽的右侧板为冷却板，冷却板内沿板的长度方向设置有若干排平行的循环冷却水管。本实用新型的蒸发冷却降温系统，结构简单，设计合理，不仅可减少铝渣清理的频率，而且可大大提高铝蒸汽的利用率，实现蒸镀速度的大幅度提升。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发槽 横向凸块 降温系统 蒸发冷却 正负电极 正电极 循环冷却水管 本实用新型 薄膜真空 负电极 冷却板 右侧板 蒸发舟 凹腔 镀铝 长度方向设置 卧式圆柱体 两端固定 铝渣清理 直接固定 绝缘套 铝蒸汽 内沿板 左侧板 蒸镀 正对 平行 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜真空镀铝设备的蒸发冷却降温系统，包括蒸发槽、位于蒸发槽内的蒸发舟和正负电极，蒸发槽为包括底板、左右侧板和前后端板的长方体，其特征在于：所述正负电极为卧式圆柱体且轴心带有横向凸块，正电极通过绝缘套固定于蒸发槽的左侧板，负电极直接固定于蒸发槽的右侧板，正电极和负电极的横向凸块正对；所述蒸发舟的两端固定于正负电极的横向凸块顶面上；正电极在其横向凸块相对的一侧开设有水平的凹腔，凹腔内设有循环冷却水管，蒸发槽的右侧板为冷却板，冷却板内沿板的长度方向设置有若干排平行的循环冷却水管。
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