[实用新型]一种新型片架定位工装有效
| 申请号： | 201820060295.5 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN207966950U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 张如根 | 申请（专利权）人： | 蚌埠市龙子湖区金力传感器厂 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 安徽力澜律师事务所 34127 | 代理人： | 王际复 |
| 地址： | 233000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型片架定位工装，包括：反应箱、气源室、进气管、出气管、抽气装置、片架、旋转电机、转动座、环形挡圈、豁口、滚轮，所述反应箱与气源室之间通过进气管连接，所述出气管不与反应箱连接的另一端与抽气装置连接，所述旋转电机固定安装在反应箱下端面，所述旋转电机输出轴向上穿过反应箱底壁后末端固接一个转动座，所述片架固接在转动座上端面处，所述环形挡圈固接在反应箱内部下侧，所述转动座的外侧架设在环形挡圈上，所述转动座左右两侧分别开有一个豁口，且每一个豁口内均通过短轴转动安装一个滚轮，所述滚轮外壁与反应箱内壁接触。本实用新型具有结构新颖、使用寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 转动座 反应箱 片架 环形挡圈 豁口 固接 本实用新型 定位工装 旋转电机 出气管 进气管 气源室 滚轮 旋转电机输出轴 抽气装置连接 抽气装置 滚轮外壁 使用寿命 转动安装 左右两侧 上端面 下端面 箱底壁 箱内壁 短轴 架设 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种新型片架定位工装，包括：反应箱、气源室、进气管、出气管、抽气装置、片架、旋转电机、转动座、环形挡圈、豁口、滚轮，所述气源室设置在反应箱的一侧，所述反应箱与气源室之间通过进气管连接，所述反应箱的底壁上连接一根出气管，所述出气管不与反应箱连接的另一端与抽气装置连接，所述旋转电机固定安装在反应箱下端面，其特征在于：所述旋转电机输出轴向上穿过反应箱底壁后末端固接一个转动座，所述片架固接在转动座上端面处，所述环形挡圈固接在反应箱内部下侧，所述转动座的外侧架设在环形挡圈上，所述转动座左右两侧分别开有一个豁口，且每一个豁口内均通过短轴转动安装一个滚轮，所述滚轮外壁与反应箱内壁接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
