[实用新型]一种多晶硅还原炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括炉筒（1），炉筒安装在底盘（6）上，炉筒由炉筒内壁（3）和炉筒外壁（10）组成，炉筒外壁与炉筒内壁之间设置水腔（4），所述炉筒上、中、下部位分布至少3个视镜孔（7、8、9），视镜孔贯穿炉筒内壁（3）、外壁（10），炉筒（1）下部设有冷媒体进入口（5），炉筒上部设有冷媒体排出口（2），炉筒内壁（3）上设有喷砂粗化层（11），喷砂粗化层上设有镍基钨合金和/或钴基钨合金形成的功能层。本实用新型的多晶硅还原炉，能够减少热量损失，达到5%～30%节电效果；提高多晶硅电阻率，延长还原炉使用时间。

主权项

1.一种多晶硅还原炉，包括炉筒(1)，所述炉筒(1)安装在底盘(6)上，所述炉筒(1)由炉筒内壁(3)和炉筒外壁(10)组成，所述炉筒外壁(10)与炉筒内壁(3)之间设置水腔(4)，所述炉筒(1)上、中、下部位分布至少3个视镜孔(7、8、9)，所述视镜孔贯穿炉筒内壁(3)、外壁(10)，所述炉筒(1)下部设有冷媒体进入口(5)，所述炉筒上部设有冷媒体排出口(2)，其特征在于，所述炉筒内壁(3)上设有喷砂粗化层(11)，所述喷砂粗化层(11)上设有功能层(12)，所述功能层(12)为镍基钨合金或钴基钨合金形成的功能层。