[实用新型]热处理设备

摘要

本实用新型提供了一种用于对衬底进行热处理的热处理设备，所述设备包括产生频率范围为1GHz到24GHz的均匀微波场的均匀微波场发生器、间隔为1毫米到4毫米或者6毫米到9毫米的掺有杂质的电容板以及旋转装置，旋转装置被配置成使所述电容板和所述衬底在所述均匀微波场内旋转，由此引起来自所述均匀微波场的被施加于所述衬底的微波的极性的周期性改变，所述均匀微波场中的傅科电流通过垂直于所述板流动而对所述极性的周期性改变作出反应，从而提供对所述衬底的均匀加热。

主权项

1.一种用于对衬底进行热处理的热处理设备，其特征在于，所述设备包括：产生频率范围为1GHz到24GHz的均匀微波场的均匀微波场发生器；掺有杂质的电容板，其位于所述均匀微波场发生器内并且定向成在所述均匀微波场内在所述电容板之间形成电容效应，所述电容板的间隔距离在1毫米到4毫米之间或者在6毫米到9毫米之间；以及旋转装置，其被配置成使所述电容板和所述衬底在所述均匀微波场内旋转，由此引起来自所述均匀微波场的被施加于所述衬底的微波的极性的周期性改变。