[实用新型]一种应用于PVD真空镀膜的双钩挂盘有效

专利信息
申请号: 201820084409.X 申请日: 2018-01-18
公开(公告)号: CN207904361U 公开(公告)日: 2018-09-25
发明(设计)人: 胡剑锋;金修立 申请(专利权)人: 精研(东莞)科技发展有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 陈娟
地址: 523000 广东省东莞市长*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种应用于PVD真空镀膜的双钩挂盘,其挂盘主体包括内侧圆环体、外侧圆环体,内侧圆环体与外侧圆环体之间设置有三个呈圆周环状均匀间隔分布的中间连接辐条;内侧圆环体中间位置开设内环通孔,内侧圆环体上表面设置套筒,套筒内部开设套装孔,套筒与内侧圆环体为一体结构;外侧圆环体上表面装设呈圆周环状均匀间隔分布的挂钩组件,各挂钩组件分别包括第一挂钩、第二挂钩,第一、二挂钩分别包括有呈直杆形状且固定于外侧圆环体上表面的挂钩固定部;第一、二挂钩于相应挂钩固定部的外端部分别设置有与挂钩固定部相垂直且呈弧形弯曲形状的挂钩主体。本实用新型具有结构设计新颖、使用方便的优点,且能有效提高PVD真空镀膜质量。
搜索关键词: 内侧圆环 挂钩 外侧圆环 真空镀膜 固定部 上表面 套筒 均匀间隔分布 本实用新型 挂钩组件 圆周环状 钩挂 挂钩主体 弧形弯曲 一体结构 直杆形状 中间连接 套装孔 外端部 辐条 挂盘 内环 通孔 装设 应用 垂直
【主权项】:
1.一种应用于PVD真空镀膜的双钩挂盘,其特征在于:包括有呈圆盘形状的挂盘主体(1),挂盘主体(1)包括有分别呈圆环形状的内侧圆环体(11)、位于内侧圆环体(11)外围的外侧圆环体(12),内侧圆环体(11)、外侧圆环体(12)分别呈水平横向布置且内侧圆环体(11)与外侧圆环体(12)水平平齐布置,内侧圆环体(11)与外侧圆环体(12)同轴布置;内侧圆环体(11)与外侧圆环体(12)之间设置有三个呈圆周环状均匀间隔分布的中间连接辐条(13),各中间连接辐条(13)分别沿着内侧圆环体(11)、外侧圆环体(12)的直径方向水平延伸,各中间连接辐条(13)的内端边缘部分别与内侧圆环体(11)的外端边缘部连接,各中间连接辐条(13)的外端边缘部分别与外侧圆环体(12)的内端边缘部连接,内侧圆环体(11)、外侧圆环体(12)以及各中间连接辐条(13)为一体结构;内侧圆环体(11)的中间位置开设有上下完全贯穿的内环通孔,内侧圆环体(11)的上表面设置有呈圆柱体形状且朝上竖向延伸的套筒(14),套筒(14)与内侧圆环体(11)同轴布置,套筒(14)的内部开设有上下完全贯穿且与内环通孔连通的套装孔(141),套筒(14)与内侧圆环体(11)为一体结构;外侧圆环体(12)的上表面装设有呈圆周环状均匀间隔分布的挂钩组件(2),各挂钩组件(2)分别包括有第一挂钩(21)、位于第一挂钩(21)旁侧的第二挂钩(22),第一挂钩(21)、第二挂钩(22)分别包括有呈直杆形状且水平横向布置的挂钩固定部(23),挂钩固定部(23)的内端部装设于外侧圆环体(12)的上表面,挂钩固定部(23)的外端部延伸至外侧圆环体(12)的外端侧;第一挂钩(21)、第二挂钩(22)于相应挂钩固定部(23)的外端部分别设置有与挂钩固定部(23)相垂直且呈弧形弯曲形状的挂钩主体(24),挂钩主体(24)与相应的挂钩固定部(23)为一体结构。
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