[实用新型]一种高温测试探针卡加热控制系统有效
| 申请号： | 201820089833.3 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN208013259U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 周杰;侯天宇;王有亮;田茂 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239 | 代理人： | 丁秀华 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种高温测试探针卡加热控制系统，包括：探针卡，所述探针卡包括补强板、基板、探针，补强板安装在基板上，探针安装在基板下面；加热器，设置在补强板与基板之间，对探针卡至少一部分加热；温度感应器，连接到探针卡上，用于感应所述探针卡的温度；温度控制器，连接至加热器及温度感应器，由温度控制系统进行控制。加热器环形的形状设置，可以均匀地进行加热，并且设置在加强板与基板之间，最大效果地减少基板随着外围环境温度的变化而不同程度的形变，减少探针的变形，稳定探针的位置。温度感应器可以感应不同位置的温度，较高效率地实现实时监控探针卡不同位置的温度，通过温度控制系统进行全自动控制，保证测试数据的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 探针卡 基板 加热器 温度感应器 补强板 探针 加热控制系统 温度控制系统 高温测试 加热 本实用新型 全自动控制 温度控制器 测试数据 基板下面 实时监控 探针安装 外围环境 形状设置 高效率 加强板 形变 变形 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高温测试探针卡加热控制系统，包括：探针卡，所述探针卡包括补强板、基板、探针，所述补强板安装在所述基板上面，所述探针安装在所述基板下面，其特征在于，还包括：至少一个加热器，设置在所述补强板与所述基板之间、或者补强板上表面、或者补强板内部，对所述基板进行加热；至少一个温度感应器，设置在所述探针卡上，用于感应所述探针卡的温度；温度控制系统，连接至所述加热器及温度感应器。
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