[实用新型]一种单晶炉自冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉自冷却装置，主冷却系统包括主冷却盘管和副冷却管，所述主冷却盘管设在加热器和钳锅石墨托之间，主冷却盘管的下方设有安装盘并固定在钳锅托杆上，钳锅托杆尾端连接钳锅旋转装置；所述副冷却管安装在上炉盖内并且其向内设有副冷却盘管，上冷却管设在上炉腔内壁，所述上冷却管的上端与晶体旋转及升降装置上的连杆相连，所述上冷却管和副冷却盘管相互连通，并由控制箱控制水流循环。本实用新型采用上冷却管和副冷却盘管来对旋转的晶体进行降温冷却，在完成晶体拉伸停炉之后，由主冷却盘管旋转对炉室内部和零件进行冷却，将两个了冷却系统均安装在单晶炉内，通过控制器分布控制，不仅降温冷却均匀，还实现自动化操作。

主权项

1.一种单晶炉自冷却装置，包括下炉室、钳锅旋转装置（6）、上炉盖（2），上炉室（1）和晶体旋转及升降装置，其中上炉室（1）包括加热器、钳锅石墨托和钳锅托杆（11），其特征在于：还包括上冷却系统、主冷却系统和控制箱（7），其中所述主冷却系统包括主冷却盘管（8）和副冷却管（9），所述主冷却盘管（8）设在加热器和钳锅石墨托之间，所述主冷却盘管（8）的下方设有安装盘（81）并固定在钳锅托杆（11）上，所述主冷却盘管（8）下端延伸至上炉室（1）外部并在器尾端设有进水阀A （83）和出水阀A （82），所述进水阀A （83）和出水阀A （82）通过出水管（12）与控制箱（7）相连，所述钳锅托杆（11）尾端连接钳锅旋转装置（6）；所述副冷却管（9）安装在上炉盖（2）内并且其向内设有副冷却盘管（92），所述副冷却管（9）上设有温度传感器（91）和循环泵（93），所述副冷却管（9）和控制箱（7）之间设有进水阀B和出水阀B；所述上冷却管（10）设在上炉腔（3）内壁，所述上冷却管（10）的上端与晶体旋转及升降装置上的连杆相连，其下端设有出水管（12），所述出水管（12）与上炉腔（3）相连，所述出水管（12）与上冷却管（10）之间设有流量控制阀（101），所述上冷却管（10）和副冷却盘管（92）相互连通，并由控制箱（7）控制水流循环。