[实用新型]一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构有效
| 申请号： | 201820095757.7 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207831943U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/02 | 分类号： | F27D7/02;F27D7/00;F27D19/00;H01F41/02;C23C10/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构，与镝铽扩渗炉相对应，镝铽扩渗炉内设置有反应腔，反应腔上设置有充放气管路，所述新型充放气管路包括充气管路、放气管路；所述充气管路连接到反应腔管道；所述放气管道连接在反应腔上并安装在反应腔内部。本实用新型设计合理，能够提高气氛清洗效果，大大降低反应腔内杂质含量，并且保证在洁净的工艺环境下提高冷却效率，从而提高生产效率和材料产成品质量，实用性强，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔 充放气 扩渗炉 本实用新型 充气管路 放气管道 放气管路 工艺环境 冷却效率 清洗效果 生产效率 洁净 保证 | ||
【主权项】：
1.一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构，与镝铽扩渗炉相对应，镝铽扩渗炉内设置有反应腔，反应腔上设置有充放气管路，其特征在于：所述新型充放气管路包括充气管路、放气管路；所述充气管路连接到反应腔管道；所述放气管道连接在反应腔上并安装在反应腔内部。
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