[实用新型]一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统有效
| 申请号： | 201820095764.7 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207823969U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/02 | 分类号： | B22F9/02;F27D19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路；所述进气管路一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统。本实用新型设计合理，通过增加负压恒压闭环控制，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在吸氢‑歧化‑脱氢‑再复合工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 负压 闭环控制系统 恒压 反应腔 真空系统 本实用新型 工控系统 工艺气体 供气系统 进气管路 热处理炉 真空气氛 内压力 制品合格率 闭环控制 复合工艺 恒压控制 减小 歧化 脱氢 吸氢 | ||
【主权项】：
1.一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，与真空气氛热处理炉相对应，所述真空气氛热处理炉上包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路；所述进气管路一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统。
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