[实用新型]一种在真空环境下转移大面积二维材料的转移平台

摘要

本实用新型属于二维半导体材料领域，具体为一种在真空环境下转移大面积二维材料的转移平台，包括加热台、真空密封箱、Z轴方向真空贯通装置、真空泵、底架、顶架、抽真空阀门、放气阀门和真空计；真空密封箱放置在加热台上，包括真空密封箱顶盖；Z轴方向真空贯通装置的内部包括转轴；Z轴方向真空贯通装置竖直贯穿真空密封箱顶盖；顶架固定在转轴的下端；底架固定在真空密封箱底部的凹槽中，由金属材料制成；抽真空阀门、放气阀门和真空计分别安装在真空密封箱上；抽真空阀门通过接真空泵的管路与真空泵相连。该平台具有转移后材料界面干净、可转移大面积二维材料、不引入杂质、对材料无伤害的特点，有很好的推广和实用价值。

主权项

1.一种在真空环境下转移大面积二维材料的转移平台，其特征在于，所述转移平台包括加热台、真空密封箱、Z轴方向真空贯通装置、真空泵、底架、顶架、抽真空阀门、放气阀门和真空计；所述真空密封箱放置在加热台上，所述真空密封箱包括金属材料的底部、耐高温透明材料的侧壁，以及密封顶盖，所述顶盖可打开；所述真空密封箱底部的中心设有凹槽；所述Z轴方向真空贯通装置的内部包括转动Z轴方向真空贯通装置的转轴，所述转轴竖直贯穿Z轴方向真空贯通装置，并延伸出Z轴方向真空贯通装置的上下两端；所述Z轴方向真空贯通装置竖直贯穿真空密封箱顶盖；所述顶架固定在转轴的下端，正对真空密封箱底部的凹槽；所述顶架由表面平整的金属材料制成，顶架下表面有定位用的十字标记；所述底架固定在真空密封箱底部的凹槽中；所述底架由导热性良好的金属材料制成，表面平整，底架上表面有定位用的十字标记；所述抽真空阀门、放气阀门和真空计分别安装在真空密封箱上；所述抽真空阀门通过接真空泵的管路与真空泵相连。